09系列管状直线电机
管状直线电机及模组的专利设计使其在无需外接光栅、磁栅等传感器的情况下通过内置的位移传感器也能达到最高4um的重复定位精度。内置位移传感器输出的位移信号是符合RS-422工业标准的增量数字方波信号。
